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第七百二十三章 第一步(第1/2页)

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    “许董,按照目前的情况来看,我们集团公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层把握,并没有把情况说死。他还是有点担心这套激光光路系统不能提供精准的激光光源。

    光刻机的原理和照相机的原理基本一样,都是用曝光来成像。但第三代光刻机的精度非常高,最低可达到0.018微米。倘若再使用FinFET制程技术和浸润式光刻制程技术,精度要达到0.01微米以下。

    由此可以想到,第三代光刻机对激光光源的功率、稳定性的要求肯定非常高,一般的国家不能生产这种尖端设备。这也是胡明镇所担心的事情。

    胡明镇一边说话,一边指挥着李全等人怎么组装激光发生器、光学仪器、光学镜头等精密设备。这套装配流程非常重要,能直接影响到激光光路系统的精度和可靠性,胡明镇不得不小心行事。

    “装配工作什么时间能完成?”

    看到李全等人的进度不是很快,许振鸣认为站在这里没啥意思,准备再去隔壁车间巡视一下。临走之前,他向胡明镇要了一份这台光刻机装配和调试的工程进度表。

    “许董,如果一切顺利,我们会在元月28日左右开始试生产,并且用这台光刻机来流片。”胡明镇比较忙,跟许振鸣说了几句,又开始投入工作。

    许振鸣见此,拿着一摞用A4纸打印的资料,一边翻看着一边朝隔壁的车间走去。

    “三天内完成设备组装和安装,五天内调试好这台设备,第九天以后开始做试生产的准备…嗯,这个计划还算可以。”

    许振鸣一边走路一边颔首点头,认为胡明镇的工作做得不错,准备很充分。

    不多久,他来到4号钢构厂房的另外一个光刻室。

    这间光刻室是用来安装国产光刻机的生产车间。

    车间里此时也非常忙碌,万宁古、何昌林和郝宁等人也正在装配第三代光刻机。

    他们这边的进度好像要快了许多,激光光路系统的部件已经组装完成,光刻机的主体系统也已经组装好。万古宁等人正在召开现场讨论会,好像要准备进行光刻机的总装工序。

    看到这种情况,许振鸣倒是不理解,“老万,你们这边的进度为啥要快一些?”

    “许董,这台光刻机的主要部件我们都已经准备好,就等着总装和调试。”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是进口货,其实根本不要检验其性能。最关键的事情就看光刻机总装以后的效果。

    “光刻机的精度主要是受主体系统、底座、横移、减震等子系统的影响。万一这台设备的主体机械系统精度不够,我们的项目还是没成功。”

    说到最后,万宁古的眉毛全都皱了起来。他对这台光刻机主体系统的精度很担心,心里没有十足的把握。

    听到这话,许振鸣的心情也好不起来。“你们需要多长时间来准备?”念及此,许振鸣想要知道万宁古等人的总装和调试计划。

    “三天左右吧。”何昌林扫了一眼现场的情况,缓缓说道。

    “三天恐怕不行,最少要五天时间。”

    “最多五天时间,许董。五天以后,我们就能做流片试验了。”

    万宁古和郝宁等人的意见还不统一,一个说要三天多,一个说要五天
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